什么是真空技术?

为了获得超高真空，除了所采用的真空泵的技术指标外，对于密封件的选择、腔室几何形状、材料和真空泵的组合和工作的程序等都有严格的要求，相关的技术统称为真空技术。

真空的应用有哪些?

真空首次广泛使用是在白炽灯泡中，以保护灯丝免受化学降解。真空产生的化学惰性也适用于电子束焊接、冷焊、真空包装和真空油炸。

现代超高真空技术广泛被用于原子级清洁基板的研究，因为只有非常好的真空才能将原子级清洁表面保持相当长的时间(大约几分钟到几天)。而超高真空能彻底消除空气障碍，允许粒子束沉积或移除材料而不受污染，这是化学气相沉积、物理气相沉积和干法蚀刻背后的原理，它们对半导体和光学涂层的制造以及表面科学至关重要。

由于真空中对流大幅降低，这为保温瓶提供了隔热效果。真空能有效降低液体的沸点，促进低温放气，用于冷冻干燥、粘合剂制备、蒸馏、冶金和工艺吹扫。

真空的电学特性使电子显微镜和真空管成为可能，包括阴极射线管。真空灭弧室常用于电气开关设备，而真空电弧工艺对于生产某些等级的钢或高纯度材料具有重要的工业意义。通过真空消除空气摩擦，有助于减少飞轮储能和超速离心机运行时的损耗。

关键词： 真空技术 技术指标 化学惰性 电子束焊接 低温放气